1200°高真空管式炉系统气相沉积薄膜
| 是否有现货： | 是 | 认证： | 上海 |
| 品牌： | 上海微行 | 加工定制： | 是 |
| 最大电压： | 220 | 功率： | 30000 |
| 额定温度： | 1200 | 主要用途： | 真空镀膜、烧结 |
| 型号： | GZK-1200 | 产量： | 100 |
微行GZK高真空管式炉系统
设备用途
???GZK是一款多用途高真空、气氛热处理实验设备，该系统由管式加热炉、真空系统组成，主要应用于气氛保护烧结、材料还原、材料真空脱气，精密材料真空热处理、时效处理、CVD实验等一些需要高真空或气氛保护环境下的热处理实验。
设备特点 外观精致、操作方便、升温速度快、保温性能好、使用寿命长、扩展升级功能广等特点；
炉体参数 石英管 Φ60/L1000mm 加热区尺寸 440mm
恒温区尺寸 气氛或大气状态≤200mm ????真空状态≤260mm
极限温度 气氛或大气状态≤1200℃????真空状态≤1100℃
长时间工作温度 气氛或大气状态≤1100℃????真空状态≤1000℃
表面温度 <?60℃（1100℃保温）
控温精度 ±1℃
最大允许正压 ≤0.02MPa
真空系统参数 真空抽速 机械泵：4L/S ???分子泵：600L/S
前级压强 ≤5Pa
空炉冷态极限真空度 1.33×10-4Pa/1.0×10-6torr
压升率 ≤1Pa/h
真空量程 电阻单元1－1.0×105Pa ???电离单元量程1.0－10-5Pa
连接方式 CF60 ?KF40
可充气氛 N2、 Ar、O2、NH3、CH4、CO2、H2等
气氛控制 标配1路0-3L/min转子流量计
系统电功率 AC220V ?16A ??4KW
系统结构 双层壳体结构，控制柜位于炉体下方。
散热方式 炉体：风扇制冷，炉外壳温度≤60℃。真空机组：水冷，配备9L水冷循环机
节能效果 ★?保温时仅需40%功率
数据显示模式 LED数显（温控、电流、电压、真空度） ????机械指针（Y60指针压力表）
控制模式 智能PID调节、模糊控制、自整定功能
温度曲线 30段可编程控制，可设置30段升降温程序
测温元件 K型热电偶
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